蘇州曼特萊精密電子有限公司通過國家真空設備質量監(jiān)督檢驗中心多年真空行業(yè)產(chǎn)品檢驗檢測服務，分析真空行業(yè)獲得產(chǎn)品質量狀況，提出真空產(chǎn)品存在的問題和產(chǎn)生原因及建議。
1、基本情況
我國真空行業(yè)起步于20 世紀五、六十年代，到90 年代后進入快速發(fā)展期，近二十年真空技術應用領域快速擴展，目前其應用領域遍布國民經(jīng)濟各行業(yè)，如航天航空、核工業(yè)、冶金及冶煉、汽車行業(yè)的零部件真空熱處理，電工行業(yè)、電子信息行業(yè)生產(chǎn)半導體集成電路的主要設備、造紙行業(yè)、環(huán)保行業(yè)、食品和醫(yī)藥行業(yè)等等，同時成為高新技術產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供重要設備的行業(yè)，為此真空產(chǎn)品的性能、質量和技術水平直接影響國民經(jīng)濟各行業(yè)，真空行業(yè)的產(chǎn)品質量的檢督和**成為必要。
國家真空設備質量監(jiān)督檢驗中心于1987 年由真空行業(yè)**的***研究所沈陽真空技術研究所組建，是因真空行業(yè)發(fā)展的需求而建立，本中心1998 年通過中國合格評定國家認可委員會認可，是經(jīng)中國國家認證認可監(jiān)督管理委員會授權的第三方檢驗檢測機構，承擔行業(yè)產(chǎn)品質量的監(jiān)督和檢驗工作，曾4 次承擔國家真空設備質量監(jiān)督抽查任務、多次法院委托的仲裁檢驗以及新產(chǎn)品檢驗等，為真空行業(yè)的技術進步和產(chǎn)品質量水平的提高做出了重要貢獻。
1.1、真空行業(yè)的產(chǎn)銷及總體質量情況
我國真空行業(yè)產(chǎn)品主要分三大類：1. 真空獲得設備：各類真空泵主要有旋片真空泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵、蒸汽流真空泵、水環(huán)真空泵、干泵、分子泵等；2.應用設備：真空鍍膜設備、各類真空爐等；3.真空儀表和真空配件：各類真空閥門和真空計等。
企業(yè)分布：真空行業(yè)生產(chǎn)企業(yè)約有500 家，在國內(nèi)的地理分布主要為五大區(qū)域，遼寧地區(qū)(包括北京)、江浙區(qū)域(包括上海)、廣東地區(qū)、山東地區(qū)、西部(包括成都、蘭州)。
據(jù)2010 年中國通用機械工業(yè)年鑒公布統(tǒng)計50 家會員企業(yè)完成工業(yè)總產(chǎn)值(當年價)40.73億元人民幣，其中實現(xiàn)營業(yè)收入34.48 億元，完成出**易值2.04 億元， 完成工業(yè)銷售產(chǎn)值39.13 億元。
目前國內(nèi)真空應用領域，國產(chǎn)獲得產(chǎn)品占主導地位，如旋片泵、水環(huán)泵、滑閥泵、羅茨泵、蒸汽流真空泵等低端真空獲得產(chǎn)品在性能方面基本能夠滿足不同的工藝過程要求，在國內(nèi)市場占有率較高；部分產(chǎn)品出品的比例逐年增加。對于**產(chǎn)品(指技術含量高的產(chǎn)品)無油真空泵(干泵等)，一直以來外商品牌產(chǎn)品在國內(nèi)市場占有率較高，但近幾年，國內(nèi)廠家在研發(fā)和生產(chǎn)有長足進展，紛紛推出各種類型的干泵產(chǎn)品，并以其較高的性價比，得到了用戶的廣泛認可，其市場占有率大幅度提高。
近十幾年，真空行業(yè)整體水平有大幅度提高，低端真空產(chǎn)品生產(chǎn)從設計水平到加工制造和性能都已趨向成熟，主要企業(yè)生產(chǎn)的產(chǎn)品質量比較穩(wěn)定，外觀質量有了明顯的提高，旋片真空泵、滑閥真空泵和羅茨真空泵產(chǎn)品有些技術指標已接近或達到******。過去長期存在的噴油、漏油問題近幾年得到一定的控制，泵的材料性能得到改善，目前，旋片真空泵、滑閥真空泵和羅茨真空泵產(chǎn)品的總體質量水平能夠達到現(xiàn)行行業(yè)標準要求的約90%左右，主要問題為抽氣速率偏低，噪聲、振動偏大。蒸汽流真空泵的總體質量水平能夠達到現(xiàn)行行業(yè)標準要求的約占80%左右，主要問題為極限壓力達不到標準要求，10-2 Pa 時測量抽速壓力不穩(wěn)定，造成抽速無法測量。整體看產(chǎn)品長期運行的可靠性、噪聲和振動等性能與國外廠家產(chǎn)品相比有明顯差距。
**真空獲得產(chǎn)品(無油泵)發(fā)展較快，廠家增加迅速，發(fā)展方向由單泵向多級組合，機組化方向發(fā)展，產(chǎn)品的真空性能趨于穩(wěn)定，產(chǎn)品質量達到行業(yè)標準要求，無油泵目前市場占有率大幅提升，整體性能水平接近國外產(chǎn)品。
2、綜合分析
2.1、檢驗檢測情況
2.1.1、開展全行業(yè)產(chǎn)品質量檢測情況
繼1995 年*后一次國家監(jiān)督抽查以后，國家不在開展行業(yè)監(jiān)督抽查為真空行業(yè)健康發(fā)展，我中心與行業(yè)協(xié)會配合，進行不定期全行業(yè)產(chǎn)品質量檢測，2009 年由行業(yè)協(xié)會委托，本中心開展了全行業(yè)產(chǎn)品質量檢測：本次檢測對旋片泵、滑閥泵、往復泵、水環(huán)真空泵、羅茨泵、油擴散泵、真空閥門7 大類，40 余種產(chǎn)品進行了產(chǎn)品型式檢驗。有20 余家行業(yè)內(nèi)骨干企業(yè)參加，代表行業(yè)的整體水平，檢驗結果為：參檢產(chǎn)品均達到真空行業(yè)標準的要求，反映真空行業(yè)企業(yè)產(chǎn)品的性能水平整體基本達到行業(yè)標準要求。
目前本中心的檢測任務為企業(yè)委托檢驗檢測和新產(chǎn)品鑒定檢驗檢測。2014 年真空產(chǎn)品委托檢驗情況見表1。
表1 2014 年委托檢測基本情況表
2014 年委托檢測基本情況表
2.1.2、主要性能指標情況
真空泵的用戶*關注的是滿足生產(chǎn)要求的基礎上進一步提高生產(chǎn)效率，反映到真空泵上就是真空泵的抽氣能力-“抽氣速率”，所以泵抽氣速率也是本中心的重點檢驗項目。由于企業(yè)和用戶均十分重視泵的抽氣能力，近幾年中心對送檢的真空泵檢驗的情況來看，該項目指標基本保持穩(wěn)定，絕大多數(shù)企業(yè)產(chǎn)品達到國標要求。
2.1.3、干式泵檢測情況
隨著整個社會環(huán)保意識的增強，油泵在醫(yī)藥、食品等許多行業(yè)領域將被干式真空泵所取代，實現(xiàn)了無油清潔真空，近年來干式真空泵在半導體產(chǎn)業(yè)和薄膜工業(yè)已廣泛應用，干式真空泵已發(fā)展到實用和普及的階段。近兩年送檢的干式真空泵數(shù)量明顯增加，對送檢的真空泵檢驗的情況來看，國內(nèi)企業(yè)生產(chǎn)的干式真空泵技術指標達到行業(yè)標準的要求。
2.1.4、真空泵**性指標情況
真空泵**性指標較為常見的項目有真空泵振動噪聲、噴油、漏油、電氣絕緣強度等，真空泵振動噪聲：旋片泵的振動噪聲源于泵油對閥片的沖擊，配用電機以及振動、旋轉件等；滑閥泵的噪聲主要源于排氣、機構振動和激勵、轉子動平衡配合、電機與軸承以及泵油的沖擊等多種因素疊加的結果；羅茨泵振動和噪聲源于轉子動平衡及其也有的軸承和齒輪精度不夠，該項指標還有少部分產(chǎn)品達不到標準要求。真空泵的噴油：旋片泵滑閥泵在啟動時，大量噴出油滴、油霧造成環(huán)境污染，使人體受到傷害。主要原因為擋油裝置簡單，泵出口不加油霧分離器。真空泵噴油：旋片泵、滑閥泵、羅茨泵的動密封經(jīng)不住長期運轉，國產(chǎn)動密封漏油現(xiàn)象比較普遍。近幾年生產(chǎn)廠家下力氣加以解決，成效顯著，噴油、噴油問題基本得到解決。電氣絕緣強度，蒸汽流真空泵的加熱器與泵外殼應絕緣可靠，該項普遍都符合要求?？傮w看，真空泵**性指標中，噪聲方面需要我們在設計、加工、選材方面深入的進行研究，進一步降低泵噪聲。
2.2、存在的問題及原因分析
1)偶有①旋片泵噴油漏油；②羅茨泵、滑閥泵、干泵噪聲高于國外先進產(chǎn)品；③擴散泵極限壓力達不到要求。真空閥門漏率達不到標準要求。
2) 國產(chǎn)真空泵與國外知名企業(yè)的泵相比普遍存在穩(wěn)定性和可靠性較差；真空行業(yè)標準有些技術指標制定的偏低，如滑閥泵比功率和噪聲指標、擴散泵的主要技術指標，并且內(nèi)容涵蓋的不夠**，如羅茨泵的*高工作溫度、環(huán)保方面沒有規(guī)定，并且更新頻度有待加快?？傮w看國產(chǎn)真空泵的生產(chǎn)與國外先進水平相比在設計、加工制造、裝配、檢測等諸環(huán)節(jié)還有一定差距，但是經(jīng)過真空界的有識之士和廣大用戶的共同努力，這種差距正在不斷縮小。
3)原因：設計研發(fā)方面：自主**投入差，缺乏自主**設計，以模仿為主；選用的密封部件質量不過關、加工手段較落后。
沒有有效的產(chǎn)品耐久性可靠性的檢測，產(chǎn)品可能發(fā)生故障不了解，沒有有效的技術跟進和技術改進，耐久性可靠性檢測因為試驗要花費大量時間和人力，在沒有強制要求的情況下，自覺的按標準要求去做的生產(chǎn)企業(yè)不多，而大多數(shù)生產(chǎn)企業(yè)不做任何可靠性試驗，或不嚴格按照現(xiàn)行標準中規(guī)定的無故障運行期(類似壽命試驗)要求執(zhí)行，只在無負載情況下運行，沒有達到耐久性和可靠性試驗的要求。因此，產(chǎn)品的故障率較高。行業(yè)標準制修訂中顧及大多數(shù)生產(chǎn)企業(yè)的技術能力，使有些技術指標偏低和標準涵蓋不全。
由于真空行業(yè)真空產(chǎn)品生產(chǎn)無強制性產(chǎn)品認證、生產(chǎn)許可證要求、近些年無國家質量抽檢，企業(yè)生產(chǎn)狀況完全靠市場主導，不可避免有以次從好，假冒偽劣產(chǎn)品存在，制約行業(yè)健康發(fā)展。
3、建議
企業(yè)應該注重提高產(chǎn)品品質，進一步提升產(chǎn)品的關鍵技術指標，提高加工制造水平，重視產(chǎn)品性能測試和可靠性測試，使企業(yè)真正了解產(chǎn)品性能，有效的技術跟進和技術改進來完善產(chǎn)品，另外真空泵的性能質量不僅僅取決于生產(chǎn)廠商的制造本身，大量的配套產(chǎn)品對真空泵的質量也起到了至關重要的作用，真空泵生產(chǎn)廠商應該選用上等的配套產(chǎn)品，這對提高真空泵的產(chǎn)品質量是至關重要的，如此才能打造具有市場競爭力的高品質產(chǎn)品，注重市場需求，注重技術**，加大新產(chǎn)品研制與技術改造的投入，在市場經(jīng)濟條件下，需求決定供給，買方市場對產(chǎn)品質量、性能、品種、價格、服務會不斷提出新的要求，技術**注重節(jié)能減排，著重降低產(chǎn)品能耗、減震、降噪，開發(fā)注重國際市場的開拓，適合市場的新產(chǎn)品，是占領市場的法寶。加強真空行業(yè)質量監(jiān)督和管理、更好的發(fā)揮質檢中心和標準化對行業(yè)產(chǎn)品質量的監(jiān)督和引導作用。
真空行業(yè)為各行各業(yè)提供基礎裝備，其應用領域十分廣泛，并不斷擴大，如航天航空、核工業(yè)、冶金和冶煉、電工、電子信息的半導體、造紙、環(huán)保行業(yè)等等，真空設備的品種、性能、質量和技術水平直接關系影響到國民經(jīng)濟的各行各業(yè)，特別是高新技術領域技術裝備的能力，因此加強真空行業(yè)質量監(jiān)督和管理，通過國家真空設備質量監(jiān)督檢驗中心為行業(yè)提供檢驗檢測服務的渠道，掌握行業(yè)產(chǎn)品質量狀況，為行業(yè)標準的制定提供可靠的技術支撐，為政府部門提供權威產(chǎn)品質量數(shù)據(jù)和分析對策，為行業(yè)提供技術質量基礎信息和發(fā)展建議，從而更好的引導企業(yè)產(chǎn)品升級和質量提升，使真空行業(yè)健康發(fā)展。
技術標準是產(chǎn)品設計制造的靈魂，通過標準的提高和**，帶動和規(guī)范產(chǎn)品性能的提高，在標準修制訂中，要涉及環(huán)保、節(jié)能減排指標和瞄準國外先進產(chǎn)品的指標，以提高國內(nèi)產(chǎn)品的檔次，保證用戶的經(jīng)濟利益，引導企業(yè)采用先進標準，推動生產(chǎn)企業(yè)技術**和技術改造，淘汰落后，推動行業(yè)技術發(fā)展，提升產(chǎn)品質量和市場競爭力。